OptoFlat® 高精度低相干干涉儀
Product Details
OptoFlat® 高精度低相干干涉儀是行業內獨有的低成本、高穩定性以及結構緊湊的平面專用低相干干涉儀。其采用低相干性長壽命633nm的LED光源,波長帶寬1nm。在測量透明材質的雙面平行光學元件的單個表面面型時不會受到其他表面的干涉條紋影響,所以OptoFlat可以排除來自多個表面的干擾,直接測得目標表面的面型精度。對于測量實心玻璃棱鏡的前表面面型時也可以抑制其他反射面的影響。
產品特點
*自動光強調節與FlexFlatTM傳輸平臺相結合,減少了操作人員在測量時的干預
*無需反復測量,無需掃描測試位置
*與其他基于激光的Fizeau干涉儀不同,OptoFlat集成了長壽命的LED光源
*內置專有的PurePhaseTM方法提升了在不穩定的振動環境中的干涉相位測量
*校準過的低畸變1X和4X光學放大率的比例尺準確的測試面積尺寸,可自動標記或用戶定義有效通光孔徑,便于判定測試合格/不合格
*簡單易用的測試軟件界面便于光學元件的批量測量,使任何人只要稍加培訓就可以輕松測試多樣的光學元件,專業的樣品承載臺可快速批量測試每個零件。非接觸式傳感開始 測量并能快速分析判斷產品合格/不合格
*設計簡潔,占地小
產品應用
*測量拋光光學表面的面型和透射波前
技術規格
| 放大倍率 | 1X放大倍率 | 4X放大倍率 | 
| 有效測量區域 | Φ101.6mm | Φ25.4mm | 
| 相機分辨率 | 1200×1200pixels | 1920×1200pixels | 
| 相機頻率 | 40Hz | |
| 空間采樣 | 88μm/pixels | 22μm/pixels | 
| 畸變 | 0.089% | 0.05% | 
| 景深 | +/-12.6mm | +/-2.2mm | 
| RMS測量精度 | 0.1nm | |
| RMS重復性 | 0.03nm | |
| 波長 | 633nm,1nmFWHM | |
| 相干深度 | 300μm | |
| 工作距離 | 90mm | |
| 傾斜調整范圍 | +/-2° | |
| 平移調整范圍 | +/-8mm | |
| 樣品承載臺 | 175×175mm | |
| 軸向移動范圍 | 65mm連續移動,100mm拆掉墊圈 | |
| 最大被測樣品 | 100mm厚,5kg重 | |
產品中心
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