LUPHOScan 600/850 HD 大型光學(xué)工件精密非接觸式輪廓檢測(cè)儀是基于世界著名的 LUPHOScan HD 的測(cè)量原理開發(fā)的，為超大型復(fù)雜光學(xué)原件提供穩(wěn)定的非接觸計(jì)量解決方案。我們的計(jì)量?jī)x器專家在聽取眾多光學(xué)加工合作者對(duì)測(cè)量的需求和建議的基礎(chǔ)上，深刻理解設(shè)計(jì)一種能為大型光學(xué)工件提供高精度、穩(wěn)定可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)的輪廓檢測(cè)儀的重要性后，成功開發(fā)出滿足客戶需求的儀器。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

顛覆性的測(cè)量能力：

• 高精度：

    高精度和高重復(fù)性的面形誤差測(cè)量

    精度可達(dá)<λ/20 （PV99i），RMS最小可達(dá)5 nm*

• 測(cè)量范圍大，靈活性極高：
    測(cè)量口徑范圍可從5mm 到850mm，測(cè)量高度可達(dá)210mm

• 高密度測(cè)量點(diǎn)：
    測(cè)量點(diǎn)數(shù)高達(dá)600萬，以用于精確分析大口徑光學(xué)元件的中頻面形誤差

• 自由曲面測(cè)量
    對(duì)回轉(zhuǎn)非對(duì)稱面可測(cè)量整個(gè)圓周的最大斜度變化到±8（徑向斜度到90°）

• 幾乎能測(cè)量所有的材料
    透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面

為保證測(cè)量精度和重復(fù)性所采用的優(yōu)化技術(shù)：

• 大理石框架結(jié)構(gòu)
    采用材質(zhì)分布均勻的大理石框架結(jié)構(gòu)，可以很好地消除熱膨脹所引起的誤差，

    外加優(yōu)化設(shè)計(jì)將振動(dòng)造成的測(cè)量誤差減到最小。

• 環(huán)境變化實(shí)時(shí)誤差補(bǔ)償
    四個(gè)溫度變化測(cè)量傳感器和一個(gè)氣壓變化傳感器

• 低系統(tǒng)噪聲確保了高測(cè)量精度
    采用TMC設(shè)計(jì)的主動(dòng)抗振平臺(tái)，以獲得最佳的隔振效果

• 自動(dòng)調(diào)心調(diào)平
    全自動(dòng)測(cè)量，獲得穩(wěn)定而精確的測(cè)量結(jié)果

技術(shù)指標(biāo)

準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性研究

為了證明 LUPHOScan HD 的準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，在無負(fù)載和有150kg負(fù)載的情況下，分別對(duì) Φ 600 mm 的參考平晶面在兩個(gè)不同的轉(zhuǎn)動(dòng)方位上進(jìn)行測(cè)量。

測(cè)試數(shù)據(jù)顯示了當(dāng)大平晶旋轉(zhuǎn)到不同方位時(shí)面形誤差PV99i值仍然很穩(wěn)定。

Φ 600 mm的光學(xué)參考平晶：
  • 0°（無負(fù)載）- 303 nm, 57 nm RMS
  • 120°（無負(fù)載）-335 nm, 58 nm RMS
  • 0° (150 kg ft 4k) - 294 nm, 60 nm RMS
  • 120°（150kg 負(fù)載）-350 nm, 69 nm RMS