Product Details
特有的集成光學(xué)與激光設(shè)計(jì)、可對(duì)2-6寸規(guī)格的多種 半導(dǎo)體材料和基片進(jìn)行激光劃片 。采用SD隱形切割，可處理品圓厚度范圍100m~600pm 。具備多雙路視覺(jué)檢查與定位。具有實(shí)時(shí)焦距校正系統(tǒng)(DRA) 體機(jī)小，結(jié)構(gòu)緊湊，手動(dòng)上料，操作簡(jiǎn)單易用。
適用材料及應(yīng)用實(shí)例
技術(shù)參數(shù)
| 主要技術(shù)參數(shù) | |
| 激光器 | |
| 波長(zhǎng) | 1064nm |
| 視覺(jué)定位 | 光學(xué)聚焦系統(tǒng)：雙路CCO視覺(jué)定位:按照設(shè)定程序自動(dòng)識(shí)別切割道； |
| CCD1 | 旁軸，視野范圍: 8"7mm；分辨率:10um ； |
| CCD2 | 同軸，視野范圍 |
| 光學(xué)聚焦 | 50倍鏡頭，NA:0.42 |
| 動(dòng)態(tài)聚焦 | 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。行程 : 100um ; 分率: 10nm ；空載響應(yīng)頻率:300Hz； |
| 焦點(diǎn)跟隨 | 跟蹤范圍：±1.3mm；分辨率：0.25um； |
| 運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) | |
| X軸 | 行程300mm，速度≥500 mm/s，定位精度±2.5um，重復(fù)精度±1um； |
| Y軸 | 行程150mm，速度≥500 mm/s，定位精度±2.5um，重復(fù)精度±1um； |
| Z軸 | 行程50 mm，速度≥30 mm/s，定位精度±2um，重復(fù)精度士1um； |
| O軸 | 轉(zhuǎn)臺(tái)直徑 : 110mm，絕對(duì)精度 : 20arc-sec，重復(fù)精度 :土2.5arc-sec，轉(zhuǎn)速 : 600rpm，輸出扭矩 : 50N-m ,角度范圍 : ≥120° |
| 系統(tǒng)控制 | |
| 功能 | 8軸運(yùn)動(dòng)控制，其中6個(gè)直線運(yùn)動(dòng)，2個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng) |
| 大于64路輸入輸出控制 | |
| 實(shí)現(xiàn)2組CCD分時(shí)定位，識(shí)別 | |
| 實(shí)現(xiàn)激光器參數(shù)控制 | |
| 實(shí)現(xiàn)焦點(diǎn)自動(dòng)跟蹤 | |
| 實(shí)現(xiàn)反向焦點(diǎn)自動(dòng)補(bǔ)償 | |
| 使用條件 | |
| 電源 | 電壓220VAC±10% |
| 功率 | Single-phase ，50-60HZ，4000W max |
| 壓縮空氣 | 0.5-0.7Mpa |
| 冷卻水 | 純凈水 |
| 主機(jī)尺寸 | 1100*800*1700 |
| 重量 | 劃片機(jī) : ≤450kg，控制柜 : ≤150kg |
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