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我國科研團隊成功研制微型紫外光譜儀芯片,填補紫外波段微型光譜技術空白

    光譜信息作為物質的“光基因”,能夠反映物質本征屬性。光譜成像技術憑借“譜圖合一”的特性,可同步獲取檢測目標的光譜特征與空間幾何特征等多維度數據,在物質成分分析、環境實時監測、衛星遙感、深空探測等領域具有重要應用前景與戰略價值。然而,傳統光譜成像技術依賴幾何分光與機械掃描模式,存在系統復雜、體積龐大、難以集成、成本高昂等問題,無法滿足集成便攜式、快速響應智能光譜成像儀的應用需求。尤其在對生物制藥、有機物及分子檢測具有重要意義的深紫外/紫外波段,受材料、工藝與結構復雜性限制,片上微型紫外光譜成像技術長期處于空白狀態,成為制約該領域發展的關鍵瓶頸。
    2025年9月26日,中國科學技術大學微電子學院孫海定教授領銜的iGaN實驗室,聯合武漢大學劉勝院士團隊,在國際頂級期刊《NaturePhotonics》在線發表題為“AMiniaturizedCascadedDiodeArraySpectralImager”的研究成果。該團隊成功研制出基于氮化鎵(GaN)的微型紫外光譜儀芯片,并實現片上光譜成像,不僅填補了微型光譜儀技術在紫外波段的空白,更為緊湊型、便攜式光譜分析與成像芯片的大規模制造及應用奠定基礎。

 

我國科研團隊成功研制微型紫外光譜儀芯片,填補紫外波段微型光譜技術空白


    核心技術突破:GaN級聯架構與DNN算法深度融合
    為解決傳統光譜技術的微型化難題,研究團隊創新提出新型技術路徑,通過硬件架構設計與算法優化的協同,實現紫外波段光譜探測的高精度與高響應速度。
    1.GaN基級聯光電二極管架構創新:芯片核心采用兩個不對稱pn二極管垂直級聯結構,可在2英寸晶圓上完成陣列化制備,并通過鍵合工藝實現光譜成像芯片集成。該架構可通過外加偏壓調控載流子的波長依賴傳輸行為,實現電壓可調的雙向光譜響應,突破傳統結構光譜響應固定的局限,為寬波段、靈活探測提供硬件基礎。
    2.深度神經網絡(DNN)算法融合:針對光譜信息重構需求,團隊將芯片獲取的光電流信號與DNN算法深度結合,實現對未知光譜信息的高精度重構。在紫外波段(250365納米)測試中,該芯片光譜分辨率達0.62納米,響應速度快至10納秒,兼顧探測精度與響應效率,滿足實時檢測場景需求。


    應用驗證:有機物質光譜成像測試成效顯著
    為驗證芯片性能與應用潛力,研究團隊以橄欖油、花生油、動物油脂、牛奶等有機物質液滴為檢測對象,開展光譜成像實驗,充分體現芯片在有機檢測領域的實用價值。
    實驗中,芯片每個像素可捕獲波長相關的光電流信號,形成完整三維數據集。經DNN算法光譜重構后,生成高分辨率光譜圖像,清晰呈現不同有機物質在紫外波段的獨特吸收特性及其空間分布,實現有機物質的空間分辨與單次直接成像。對比商業光譜儀測試數據,該芯片的光譜重構結果高度吻合,證明其精度可媲美傳統大型設備,為替代傳統光譜儀、實現設備小型化提供關鍵支撐。


    未來發展前景:多波段擴展與低成本規模化應用可期
    該研究提出的微型光譜儀芯片架構具有極強的擴展性與產業化潛力,未來可通過技術優化進一步拓展應用邊界,降低應用成本。
    波段覆蓋范圍擴展:通過調整芯片內化合物材料組分及摻雜特性,或采用硫化鎘、氧化鋅等二六族化合物半導體,以及砷化鎵、磷化銦等三五族化合物半導體材料,可將芯片工作范圍從紫外光擴展至可見光、紅外光波段,覆蓋更多領域檢測需求,如紅外波段環境氣體監測、可見光波段物質成分分析等。
    尺寸優化與成本降低:芯片制備工藝完全兼容現有先進半導體大規模制造流程,未來可將特征尺寸進一步縮小至亞微米甚至納米級,提升光譜成像分辨率;同時,規模化生產可大幅降低制造成本,預計成本可降至傳統光譜儀的百分之一,為便攜式、可穿戴式光譜探測設備的普及提供經濟可行性。
    正如硅基CCD/CMOS芯片推動數碼相機大規模普及,該GaN基微型光譜芯片的問世,有望引領光譜成像技術進入產業升級新階段,為下一代小型化、便攜式智能光譜設備的發展提供技術范式。


    研究團隊:多學科協作奠定科研基礎
    該成果的取得離不開研究團隊的長期積累與多學科協作。通訊作者孫海定教授為中國科學技術大學微電子學院教授、博導,iGaN實驗室負責人,長期致力于GaN半導體材料外延、紫外光電器件與電子器件設計制備研究,入選科睿唯安全球前2%頂尖科學家榜單、愛思唯爾“中國高被引學者”榜單,主持多項國家級科研項目;第一作者余華斌博士后、MuhammadHunainMemon博士后、高志祥博士研究生、姚銘家碩士研究生等在寬禁帶半導體領域具有深厚研究積累。此外,武漢大學劉勝院士、浙江大學楊宗銀教授、劍橋大學TawfiqueHasan教授為研究提供重要指導與支持,多學科力量協同為技術突破提供保障。
    該微型紫外光譜儀芯片的研制成功,標志著我國在光譜技術微型化領域掌握核心競爭力,為后續技術產業化與應用落地奠定堅實基礎,將推動光譜成像技術在高通量實時生物分子檢測、片上集成式傳感等領域的廣泛應用。
    要不要我幫你整理一份該微型紫外光譜儀芯片技術研究報告框架?框架將涵蓋研究背景、核心技術、實驗驗證、產業化前景、團隊介紹等模塊,方便用于學術匯報或技術梳理。

創建時間:2025-10-20 16:34
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